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數(shù)字化工廠物流供應(yīng)鏈聯(lián)合創(chuàng)新典范，突破封鎖助力中國芯

應(yīng)用：半導(dǎo)體生產(chǎn)線對(duì)晶棒、晶圓片等原料的無人化智能上下料
應(yīng)用：半導(dǎo)體生產(chǎn)線對(duì)晶棒、晶圓片等原料的無人化智能上下料
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用戶是國內(nèi)知名的半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)企業(yè)，近年來面對(duì)市場(chǎng)柔性化的生產(chǎn)需求，亟需提升廠內(nèi)物料搬運(yùn)的靈活性和穩(wěn)定性。


挑戰(zhàn)

針對(duì)晶圓昂貴且易碎的特性，用戶需要實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)安全的配送。且無塵室的作業(yè)環(huán)境，產(chǎn)品加工工序復(fù)雜繁多，用戶希望借助移動(dòng)機(jī)器人來提升廠內(nèi)物流配送效率，增強(qiáng)產(chǎn)線生產(chǎn)的靈活性和應(yīng)變能力。


方法

用戶部署了數(shù)臺(tái)迦智EMMA400舉升車、EMMA 400升降輥筒車、復(fù)合移動(dòng)作業(yè)機(jī)器人和調(diào)度系統(tǒng)CLOUDIA。

根據(jù)下發(fā)的指令信息，EMMA400輥筒車前往原料庫取出硅棒，送至粘棒間；EMMA400舉升車將料盤分別在粘棒間、線切區(qū)域及脫膠清洗等各制造工序間流轉(zhuǎn)；復(fù)合移動(dòng)作業(yè)機(jī)器人則配合產(chǎn)線需要，進(jìn)行晶圓半成品在各制造工作站間的自主轉(zhuǎn)運(yùn)和上下料。所有的機(jī)器人通過調(diào)度系統(tǒng)CLOUDIA的統(tǒng)一調(diào)度，高效協(xié)同作業(yè)，全程無人干預(yù)。


成果

項(xiàng)目成功實(shí)施后，用戶改善了產(chǎn)線產(chǎn)能，提升了產(chǎn)線智能化水平，實(shí)現(xiàn)靈活移動(dòng)、精密上下料，極大提升了生產(chǎn)柔性。


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